量産技術エンジニア 前工程/ウエハプロセス
超微細加工技術への挑戦

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社
技術統括部 プロセス加工技術部
2008年入社 物理学及応用物理学専攻 修了

仕事の内容について

プラズマエッチングを用いた超微細加工要素技術を担当しています。半導体デバイスの中で"形"に関わる部分に携わり、ナノメータスケール(10-9m)という極めて小さな領域で起こる現象に向き合いながら、物理・化学的な視点で材料加工を行っています。
現在の具体的な業務は、大きく分けて2つあり、1つ目はデバイス開発に関わるもので、入社以来携わってきたプロジェクトとしては、40nmLSI開発、55nmLCDドライバー開発、不揮発性メモリ(MRAM)開発に関わり、現在は新たにセンサ開発に従事しようとしております。これらの業務では、加工に関してプロセス条件を構築し、関係部門と協業の基量産製品化に向けた試作を行っています。2つ目は量産支援業務で、国内外にある自社工場へ出張し量産支援を行います。

仕事の醍醐味と苦労について

デバイス開発おいての私の役割は、形状要求を満たす加工条件をデバイスインテグレーション部門へ提供することです。加工内容はデバイスごとに異なり、デバイス素子の微細化、新規構造や新材料等、対応する案件は様々であり、加工技術者として多くの経験が得られる環境だと感じています。「これは無理だろう…」と言われるような技術ハードルの高い加工に挑戦する機会もあり、創意工夫を凝らし課題解決にあたっています。失敗の連続で悩むこともありますが、課題を克服し、デバイス動作の達成や特性改善に結びつけられたときはやりがいと大きな達成感を感じるともに、技術者としての成長を実感できます。

今後の目標や夢、応募者の皆さまへメッセージ

最近では次世代不揮発性メモリ、高耐圧デバイスやセンサなど従来のトランジスタの微細化を軸とした開発とは異なる案件に携わる機会が増えております。今後、加工技術・デバイスに対する見識をより一層深め、それら多様化する加工ニーズに柔軟に応えていける技術者を目指し、事業ひいては社会への貢献を果たしていきたいと思います。 入社後も学ぶ機会や先輩方からのサポートにより成長する環境は整っていると感じます。興味をもって、是非チャレンジしてみてください。

PRIVATE

2014年6月、岩手県で開催された100km駅伝に参加した際の集合写真。後列向かって一番左が私。

趣味・特技

ドラム演奏、マラソン

スポーツ・習い事歴

野球、ピアノ、ドラム(現在も時々仲間うちで集まって演奏しています)

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